国度常识产权局信息骄傲，朗姆说合公司苦求一项名为“在缺点填充膜蚀刻时期具有阻拦和原位钝化及硬掩模保护的原子层千里积”的专利，公开号CN122181220A，苦求日历为2024年11月。
2026世界杯中国体彩官网入口专利选录骄傲，本文公开触及试验具有原位钝化的等离子体增强原子层千里积(PEALD)以及在试验缺点填充膜蚀刻时保护硬掩模的示例。一个示例提供了一种规范，其包括试验多个PEALD轮回以将膜千里积到缺点中。每个PEALD轮回包括将膜前体引入处置室，以将膜前体吸附到缺点内的名义上，LOL比赛下注2026中国官网入口然后清扫该室。PEALD轮回还包括在滚动智商中，使用包含响应物和阻拦剂的气体夹杂物酿成等离子体，以将衬底透露于阻拦剂并将膜前体滚动成缺点内的膜。PEALD轮回还包括在滚动智商之后的钝化智商中，将衬底透露于包含钝化剂的等离子体以从缺点中的名义去除至少一些阻拦剂。
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